专利名称：METHOD FOR MANUFACTURING SOI
SUBSTRATE
发明人：AKIYAMA, Shoji,KUBOTA, Yoshihiro,ITO,
Atsuo,KAWAI, Makoto,TOBISAKA,Yuuji,TANAKA, Koichi
申请号：EP07713948.3申请日：20070208公开号：EP1983553B8公开日：20140219
摘要：Array
申请人：SHINETSU CHEMICAL CO
地址：JP
国籍：JP
代理机构：HOFFMANN EITLE
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