纳米级位移传感器概述
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发布时间:2024-10-24 14:50
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时间:2024-11-14 11:59
位移,衡量物体运动中位置变化的物理量,其检测方法种类繁多,涵盖小至应变式、电感式等,大至感应同步器、光栅等技术。光栅传感器因其高精度(可达纳米级)、抗干扰性强、无人为误差等特性,在机床加工和检测仪表等领域表现出色,日益普及。
特别关注的是纳米级位移传感器,它是一种线性传感器,包括电感式、电容式、光电式、超声波式和霍尔式等多种类型。例如,电感式位移传感器KD5100通过金属感应工作,金属物体接近时会吸取振荡器能量,实现无接触物体检测。而光电式位移传感器ZLDS-N-100,利用激光三角反射法,对环境光强和被测表面的平整度敏感,如公路测量中使用的激光位移传感器会进行特殊配置以适应特定环境。
纳米位移计NLS1X则采用光谱共焦原理,通过白光分析,通过接收端的光谱分析仪确定物体位移。电容式传感器ZNX如其名,基于电场变化检测物体,当物体接近传感器电极时,电场变化指示位移变化,适用于检测导体和绝缘体的位移。